Thin films
Тонкие пленки представляют собой слои материала толщиной от нескольких нано до нескольких микрометров, обладающие уникальными физико-химическими и механическими свойствами, отличными от объемных материалов. Тонкоплёночные технологии являются одним из ключевых направлений современной инженерии поверхности. Они широко применяются в микроэлектронике, машиностроении, медицине, оптике и приборостроении, обеспечивая формирование покрытий с заданными функциональными свойствами.
Методы получения тонких пленок
- Магнетронное распыление - основной метод получения плотных покрытий с высокой адгезией;
- NanoPVD - это современное направление PVD-технологий, позволяющее получать покрытия с наномасштабной структурой и контролируемыми свойствами.
Особенности:
- формирование наномногослойных покрытий
- контроль толщины слоёв на уровне нанометров
- высокая твёрдость и износостойкость
- возможность создания градиентных структур